臭氧机在污水处理过程中往往不能百分之百的被污水吸收利用，所以在剩余的尾气中还含有一部分臭氧，如直接排入大气就会污染环境，危害人体健康。剩余臭氧可以尽量利用，如经常采用引入原污水中。如实在不能利用就必须处理。尾气处理的方法有燃烧法、活性炭吸附法、化学吸收法和催化分解法等。处理后的尾气重的臭氧含量应小于 0 ｀ 1mg/l 。目前多使用回收利用、热分解法和霍加拉特剂催化分解法。几种方法的比较列于下表中。 在生产实践中，常将臭氧尾气以各种方式回用于原水的预处理，譬如，利用水射器，微空扩散器，混合到原水当中。
1.污水臭氧污水处理站设置空压机房、臭氧发生器设备间和操作间。空压机房安放空压机，空压机应防震和防止噪音。臭氧发生器间留有设备检修空间。
2.设备间内应有排水道，以备空压机排水，寒冷地区应有供暖设备
3.臭氧接触塔在寒冷地区应设在室内，尾气处理后经排气管排出室外。
4.应绝对防止臭氧接触塔内的污水通过臭氧管道回流到臭氧发生器。
5.根据处理工艺要求，泵应尽量靠近处理设备。
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