臭氧具有很强的氧化力，目前是已知最强的氧化剂之一。 臭氧在污水处理中的用途是最广泛的，其原理都是利用的臭氧的强氧化性。臭氧分解后，分解为氧气。
污水处理臭氧发生器因浓度需求，一般多采用气隙放电法;它的耗电量较高，因此也不可避免器件温度升高;而影响臭氧产生和设备寿命的主要因素就是器件升温，所以需要冷却来稳定性能;风冷与水冷是主要的冷却手段，也有少数选择通过冷气源来处理升温现象;但是具体采用哪种方式，还是需要由设备设计来决定。
臭氧具有极强的氧化能力，因此具有极强的杀菌作用、脱色、脱臭、脱味作用及分解作用。
杀菌可用于：上、下水，游泳池水，饮料水等的杀菌消毒;食品贮藏室内杀菌消毒：医院、学校、幼儿园、办公室、食品加工厂、制药厂等空气净化;器具类杀菌消毒，医院污水、生活污水的杀菌消毒等等。
脱色、脱臭、脱味作用可用于：印染废水脱色、粪便处理、给排水的脱色除味、养殖场除臭等，下水道的净化脱臭。
氧化：无机物的氧化，水中陈铁、锰，含氰废水的处理，矿石处理等。有机物氧化分解，市政、工业（石化、焦化、电厂）废水处理，微污染水处理，COD消除等，表面活性化，表面属性(炭黑表面属性、纤维表面属性、塑料表面属性)，香料的合成，改变结构等。内燃机燃烧剂，火箭氧化剂等。
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